本標準規定了制備氮化鎵薄膜外延片及其他用途的藍寶石單晶切割片、研磨片、拋光片(簡稱襯底片)厚度和厚度變化是否滿足標準限度要求的測試方法。
本標準適用于藍寶石襯底片厚度及厚度變化的測試。
藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法
藍寶石單晶襯底拋光片
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