本文件描述了用酸從多晶硅表面浸取金屬雜質，并用電感耦合等離子質譜儀定量檢測多晶硅表面金屬雜質含量的方法。本文件適用于太陽能級多晶硅和電子級多晶硅表面堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅、鋁等雜質元素含量的測定，測定范圍為0.01 ng/g。