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用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程

標 準 號： GB/T 29057-2023
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 江蘇中能硅業科技發展有限公司、新疆新特新能材料檢測中心有限公司等
發布日期： 2023-08-06
實施日期： 2024-03-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年09月19日
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內容摘要

本文件規定了多晶硅棒取樣、將樣品區熔拉制成單晶以及通過低溫紅外光譜法或光致發光光譜法對拉制好的單晶硅棒進行分析以確定多晶硅中施主、受主、代位碳和間隙氧雜質含量等的規程。本文件適用于評價硅芯上沉積生長的棒狀多晶硅。

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