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晶片正面系列字母數字標志規范

標 準 號: YS/T 986-2014
替代情況:
發布單位: 中華人民共和國工業和信息化部
起草單位: 有研半導體材料股份有限公司、杭州海納半導體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
發布日期: 2014-10-14
實施日期: 2015-04-01
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更新日期: 2019年06月03日
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內容摘要

本標準規定了硅片或其他半導體晶片上一串連續的包括字母和數字的標記。該編號標記及關聯信息被儲存入數據庫,對每個硅片起到了在硅片和器件制造期間追溯和控制的目的。本標準定義了晶片標記的基本編碼規定。無需處理晶片,利用簡單的自動光學字符識別設備就可以對該標記進行獨立和快速人工識別,確保了硅片制造商對晶片標記的一致性,有利于監控晶片工藝的變化。
本標準適用于廣泛的晶片產品,如外延片、SOI片、拋光片等等。

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