本標準第1部分規定了三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定方法，適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定，檢測范圍為0.00001%～1.00%。
本標準第2部分規定了四氯化硅中甲基二氯氫硅的測定方法。
本標準適用于四氯化硅中甲基二氯氫硅的測定，檢測范圍為0.00001%～1.00%。