本文件依據半導體器件對規定的機器模型(MM)靜電放電(ESD)所造成損傷或退化的敏感度,建立了半導體器件ESD測試和分級的標準程序。
本文件相對于人體模型ESD,用作一種可選的測試方法,目的是提供可靠、可重復的ESD測試結果,以此進行準確分級。
本文件適用于半導體器件,屬于破壞性試驗。半導體器件的ESD測試從本文件、人體模型(HBM見GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他測試方法中選擇。MM與HBM測試的結果相似但不完全相同。除另有規定外,HBM測試方法為所選方法。
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