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本標準規定了電子工業用磷化氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質磷與水或堿反應等方法獲得并經精制得到的磷化氫產品。它主要用于半導體器件和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。
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