停水事故(供水設備故障,水泵控制電路 故障,管路故障,水池缺水,停電)
發生停水時采取的措施: 發生停水時,立即打開停水爐子的事故水進水閥(一般為消 防水,)。 1.當爐臺水壓不夠或完全停止的時候,爐臺會做出自我保護 措施停止加熱從而出現DC電源打火報警. 2.如果水壓不能及時恢復,在等徑的爐臺立即將晶棒與液面脫 離,防止結晶.關閉晶轉鍋轉. 3.加大氬氣流量,蝶閥全部打開,加速冷卻. 4.如果結晶時間超過15分鐘原料較多的爐臺將導流筒頂起, 石英坩堝不可頂到大蓋,防止硅料膨脹后把大蓋漲壞. 做好上續措施后水壓還未恢復的時候要仔細觀察爐臺。 停 水后水壓恢復:
1.冷卻水恢復供應時,關閉事故水閥門,監控水壓,有異常立即報 告管理人員。 2.水壓恢復時,爐內無氧化現象,熔體未結晶或已結晶但液面結晶 小于4分鐘且石英坩堝未破裂,按加熱功率開,調節功率到熔料功率。 3.啟動堝轉,設定為1轉/分,打開堝轉前,確保堝轉電位器處于零 位。 4 .熔化結晶面,在此期間應密切爐內有無氧化現象,注意硅料液面 熔化情況,一旦發生氧化現象、硅液面下降,立即停爐并上報管理人員。 5.晶體處理同晶變單晶一致,待結晶全熔后,手動調節功率為引晶 功率,溫度穩定后,開始引晶。 停水后水壓無法恢復,或恢復時熔體已結晶大于4分鐘。 1.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 2.在熔體結晶40分鐘時,快速提升坩堝,使坩堝頂起導流筒100mm。 3.停爐,充分冷卻后拆爐。
一.把停水的原因查清進行處理,同時向相關領導(直屬上 級)和相關部門(設備部,安全辦)進行報告; 二.在事故發生時,安全員,外圍設備操作工,單晶班長和 單晶員工各司其責,有條不紊的進行處理,不要造成不必要 的混亂; 三.一般停水事故會發生在以下幾個方面:一,水泵故障停 水(啟動備用水泵);二,水池缺水(關閉進水閥門,向進 水管道中補充應急水;另一方面,向水池補充ao水,恢復正 常生產);三,管道系統中出現泄漏;盡量堵漏等停爐后進 行維修; 四.事故解決后,要認真檢查水,電,氣等的各類參數,確 定沒有問題,開始正常生產;
石墨坩堝裂開時采取措施:
1.石墨坩堝裂開可觀察電壓電流表狀態,是否有抖動現象。 2.有抖動現象說明與加熱器相擦,應立即關閉功率。 3.退出控制柜面板上單晶生長自動控制器,使其處于手動 狀態。 4.關閉堝轉。 5.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6.在熔體結晶40分鐘,如有可能,快速提升坩堝,使坩堝 頂起導流筒100mm。 7.停爐,充分冷卻后拆爐。
爐內漏水或觀察窗玻璃裂開:
1.當爐內出現大量漏水或觀察窗玻璃裂開時,則立即關閉 功率。 2.關閉所漏部位的水源,關閉閥門及真空泵,對爐內進行 充氬氣至50KPa左右,關閉氬氣。若觀察窗玻璃裂開時確認 爐內未出現大量漏水可不關閉閥門及真空泵蝶閥但要隨時觀 察爐內情況,以采取應急措施。 3.退出自動控制柜面板上單晶生長控制器,使其處于手動 狀態。 4.關閉堝轉。 5.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6.在熔體結晶40分鐘時,如有可能,快速提升坩堝,使坩 堝頂起導流筒100mm。 7.停爐,充分冷卻后拆爐
電器短路起火(用電負荷過大,接線松脫,電 器內灰塵,雜物過多) ? 1.當電器起火時,首先關閉控制電器的電源 總開關, ? 2.如有明火時,用干粉滅火器撲滅, ? 3.按照實際情況進行修理或更換; ? 4.故障排除后,經檢查無誤再恢復生產;
工傷事故(一般車間工傷事故,酸洗車間工傷事故)
a. 1.一般車間發生工傷事故后,由當班管理人員向安全員匯報,同時向直 屬上級領導進行匯報, 2.在等待安全員到達的同時,進行必要的施救; 3.如遇情況危急,可在安全員未到現場情況下,送患者去醫院搶救; 4.安全員到達現場處理時,所有人員必須聽從安全員的指揮; 5.在安全員了解事故情況時,相關人員必須如實回答,不得欺騙,隱瞞; 6.在事故沒有完全結束時,安全員要隨時關注事情的進展,并對相關人 員進行反饋; 7.當事故結束后,安全員應召集相關人員開安全事故鑒定會,對相關事 宜進行處理;
b.1.當酸洗車間發生化學品以身體接觸造成事故,首先,立即 用大量清水沖洗患處 10-20分鐘,用毛巾擦干水漬,在患處涂上藥膏; 2.事故發生時,由當班管理人員向安全員匯報,同時向直屬 上級領導進行匯報; 3. 在等待安全員到達的同時,進行必要的施救; 4. .如遇情況危急,可在安全員未到現場情況下,送患者去醫 院搶救; .5. 安全員到達現場處理時,所有人員必須聽從安全員的指揮; 6..在安全員了解事故情況時,相關人員必須如實回答,不得 欺騙,隱瞞; 7. 在事故沒有完全結束時,安全員要隨時關注事情的進展, 并對相關人員進行反饋 8. .當事故結束后,安全員應召集相關人員開安全事故鑒定會, 對相關事宜進行處理;
后語
其實在單晶車間出現事故并不可怕,可怕的 是班組長不懂得如何對事故進行應急,以減 少事故本身帶來的損失。因此對車間班組長事故應急指揮,車間操作 員工的安全應急預案培訓必須嚴格落實,每 周必須培訓,每月進行現場應急操作考核。
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