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異質結電池用等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備

標 準 號： T/CPIA 0065-2024
替代情況：
發布單位： 中國光伏行業協會
起草單位： 中國電子技術標準化研究院、理想萬里暉半導體設備（上海）股份有限公司、隆 基綠能科技股份有限公司
發布日期： 2024-03-10
實施日期： 2024-03-15
點 擊 數：
更新日期： 2024年07月19日
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內容摘要

本文件規定了本征薄膜異質結電池用等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備（以下簡稱“PECVD設備”）的術語和定義、工作環境、設備要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、搬運和運輸、貯存等。


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