本文件規(guī)定了氧化銦錫靶材（以下簡(jiǎn)稱ITO 靶材）的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo) 志、包裝、運(yùn)輸與貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。
本文件適用于由In2O3 和SnO2 粉末按照一定比例混合，以常壓燒結(jié)工藝生產(chǎn)的氧化銦錫靶材，是制 作透明導(dǎo)電薄膜的核心材料。