本標準規定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質,并用石墨爐原子吸收定量檢測多晶硅塊表面上的痕量金屬雜質分析方法。
本標準適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鋁、鐵、鉻、鎳、鋅的檢測。
本標準適用于各種棒、塊、粒、鋉片形多晶或單晶硅表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規則,面積很難準確測定,根據樣品重量計算結果。