本標準規(guī)定了硅單晶中Ⅲ-Ⅴ族雜質(zhì)的光致發(fā)光測試方法。
本標準適用于低位錯單晶硅中導電性雜質(zhì)硼和磷含量的同時測定。
本標準用于檢測單晶硅中含量為1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各種電活性雜質(zhì)元素。?
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