本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質譜測試方法。
本文件適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測定，測定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子個數百分比）不大于1%。
注：氮化鋁單晶中待測元素的含量以每立方厘米中的原子個數計。