本標準代替GB/T 15616-1995《金屬及合金的電子探針定量分析方法》。
本標準規(guī)定了用電子探針對金屬及合金的化學成分進行定量分析的方法。
本標準適用于金屬和合金試樣立方微米驚訝的微區(qū)成分分析，分析元素的范圍11Na~92U。
本標準也適用于用配置了波譜儀的掃描電子顯微鏡對金屬及合金做定量分析。
本標準與GB/T 15616-1995相比主要變化如下：
——在“范圍”中刪除了原“濃度在1%以上”的規(guī)定，增加“也適用于用配置了波譜儀的掃描電子顯微鏡對金屬及合金做定量分析”的規(guī)定；
——增加了引用標準；
——部分術語按ISO 23833：2006進行了修改；
——增加第11章“結果報告”；
——刪除了原標準附錄A。