本標準規定了高純砷的分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規則、產品標識、包裝、運輸、貯存等。
本標準適用于以工業砷為原料，經升華、氯化、精餾、氫還原等加工提純后制成的純度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高純砷。產品主要用于制造砷化鎵等Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體、外延源以及半導體摻雜劑等。