本文件提供了潔凈室表面、設備表面和材料表面達到所需潔凈度的清潔指導。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、內表面)。本文件提供評估達到表面潔凈度的粒子濃度(SCP)和表面化學潔凈度的化學物濃度(SCC)潔凈度的所需清潔方法，以及達到規定潔凈度宜考慮的清潔技術。ISO 14644.9和ISO 14644.10給出了清潔技術的適宜率和相關檢測方法。本文件包含以下一般性指南：--表面目標潔凈度等級；--清潔方法的適用性；--表面與清潔技術的相容性；--清潔方法適宜度的評估。本文件不包含以下事項：--清潔方法的分類；--潔凈室內生產的產品；--與特定表面相關的具體清潔方法；--各種清潔方法的清潔機制、具體方法和規程的詳細說明；--材料特性的詳細說明；--清潔工序和清潔時間對表面破壞的機制；--污染物與表面間的黏附力，以及通常與時間和工藝相關的黏附過程；--粒子的其他特性，如靜電、離子等；--分子污染物與表面的化學反應；--表面微生物；--放射性污染；--健康、安全；--環境因素，如：廢物處理、排放等；--統計方法的選用。