本標準規定了應用電子探針或者掃描電鏡(SEM)的波譜儀(WDS),通過電子束與試樣相互作用產生的X射線對試樣微米尺度體積內的元素進行定量分析的要求。
內容包括:
———定量分析原理;
———本方法涉及的元素、質量分數和標準物質的一般范圍;
———儀器的一般要求;
———有關試樣制備、實驗條件的選擇、分析測量等的基本過程及報告。
本標準適用于電子束垂直入射,要求定量分析的塊狀試樣表面平滑、均勻。對儀器和數據處理軟件沒有特殊的要求。使用者應該從儀器制造廠家獲得儀器安裝條件、詳細的操作程序及儀器說明書。