本文件規定了晶片承載器自動傳送并行輸入/輸出接口的信號定義、信號傳送要求、異常處理,以及連接器和傳感器的要求。
本文件適用于半導體制造領域、用于晶片承載器往返于主動型設備和被動型設備之間的自動傳送操作。
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