本標準規定了四探針探頭（以下簡稱探頭）的術語、技術要求、測試方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存要求等。本標準適用于電子和冶金等行業所使用的四探針法測試半導體棒、片、薄層以及金屬薄層的電阻率、薄層電阻的電陰的探頭。本標準與SJ/T 10314《直流四探針電阻率測試儀通用技術條件》標準配套使用。