本文件界定了用于評估和確定射頻MEMS開關的基本額定值和特性的術語、定義和符號，描述了參數測試方法。本文件適用于各種類型的射頻MEMS開關，射頻MEMS開關的一般說明見附錄A。按接觸方式分類，包括直流觸點型開關和電容觸點型開關；按結構分類，包括串聯開關和并聯開關，射頻MEMS開關的幾何結構說明見附錄B；按開關網絡分類，包括單刀單擲開關、單刀雙擲開關和雙刀雙擲開關等；按驅動方式分類，包括靜電驅動開關、熱電驅動開關、電磁驅動開關和壓電驅動開關等。射頻MEMS開關在多頻帶或多模式移動電話、智能雷達系統、可重構射頻器件和系統、SDR（軟件無線電）電話、測試設備、可調諧器件和系統、衛星等方面應用廣泛，射頻MEMS開關的應用說明見附錄E。