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硅單晶退火片

標 準 號： GB/T 26069-2022
替代情況： 替代 GB/T 26069-2010
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 有研半導體硅材料股份公司、山東有研半導體材料有限公司
發布日期： 2022-03-09
實施日期： 2022-10-01
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更新日期： 2022年04月10日
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內容摘要

本標準規定了硅單晶退火片（以下簡稱退火片）的分類、技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存、隨行文件及訂貨單內容。
本標準適用于通過退火工藝在硅單晶拋光片表面形成一定寬度潔凈區的硅片，產品用于技術代180nm～22nm的集成電路。

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