本標準規定了為保證半導體生產設施與用于生產半導體器件的設備能一起可靠運行的電磁兼容性(EMC)要求。
本標準適用于生產半導體器件的設施和設備,這些設施和設備涵蓋所有的設施警報、安全、通信與控制系統、工藝設備、測量設備、自動化設備以及信息技術設備。
本標準不適用于集成電路的封裝與功能測試所采用的設備和設施,也不適用于可能在半導體生產過程中產生的靜電。