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電子工業用氣體 三氯化硼

標 準 號： GB/T 17874-2010
替代情況： 替代 GB/T 17874-1999
發布單位： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位： 西南化工研究設計院、上海華愛色譜分析技術有限公司、光明化工研究設計院
發布日期： 2011-04-01
實施日期： 2011-05-01
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更新日期： 2012年10月15日
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內容摘要

      本標準規定了三氯化硼的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 
      本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導體器件生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。

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