本文件規定了利用透射電子顯微鏡（TEM）測量金屬薄晶體中位錯密度的設備、試樣、測定方法、數據處理、測定結果的不確定度和試驗報告。
本文件適用于測定晶粒內不高于1×10 15m-2的位錯密度。也適用于測量幾十納米至幾百納米厚度金屬薄晶體試樣中單個晶粒內的位錯密度。