本文件規定了使用臨界流銳孔系統動態制備校準用混合氣體的方法。校準用混合氣體至少包括由純氣或預混合氣體組成的兩種氣體（其中之一通常為補充氣）。
本文件規定的方法主要適用于制備不與臨界流銳孔系統或輔助設備中的氣體管路材質發生反應的混合氣體。使用合適數量的臨界流銳孔時，可制備多組分混合氣體。
選用合適的臨界流銳孔組合，稀釋比可達到1×104。
盡管本文件規定的方法通常應用于制備大氣壓條件下的混合氣體， 但本文件規定的方法也能用于制備壓力超過大氣壓的校準用混合氣體。使用本文件規定的方法，上游氣體壓力需至少比下游氣體壓力高兩倍。
本文件適用的流量范圍為1 mL/min～10 L/min。