本文件界定了電子探針顯微分析（EPMA)實踐中使用的術語，包括一般概念的術語和按儀器、分析方法分類的特定概念的術語。本文件適用于相關領域(SEM、AEM、EDX等)的所有標準和實踐文件中通用術語的定義。
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