本文件規定了俄歇電子能譜儀動能能量標不確定度為3 eV時的校準方法,用于識別表面常規元素。另外,本文件還規定了一種用于確定校準周期的方法。本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%,微分模式調制幅度的峰值為 ?2 eV?,配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法,具有4 keV或更高束能電子槍的譜儀。
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