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表面化學分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標校準

標 準 號: GB/T 29732-2021
替代情況: 替代 GB/T 29732-2013
發布單位: 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 清華大學、中國石油大學(北京)
發布日期: 2021-12-31
實施日期: 2022-07-01
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更新日期: 2022年05月02日
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內容摘要

本文件規定了俄歇電子能譜儀動能能量標不確定度為3 eV時的校準方法,用于識別表面常規元素。另外,本文件還規定了一種用于確定校準周期的方法。本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%,微分模式調制幅度的峰值為 ?2 eV?,配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法,具有4 keV或更高束能電子槍的譜儀。

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