本文件規(guī)定了如何報告X射線光電子能譜的峰擬合及其結果。本文件適用于單個譜圖或一組相關譜圖的擬合，例如在深度剖析測試中采集獲得的一組相關譜圖。本文件提供了一個應報告的參數(shù)列表，以實現(xiàn)可重復的峰擬合或對多個譜進行擬合與比較。本文件不提供峰擬合的操作說明，也不提供應采用的擬合步驟。