本標準規定對儀器化納米壓入試驗用儀器的能力要求和試驗的基本方法，還規定了對儀器校準和檢驗、壓頭、標準樣品的要求，以及儀器柔度和壓頭面積函數的確定方法，并給出了確定硬度和材料參數所需的數據分析方法和壓頭使用的注意事項。
本標準適用于測試各種體材料和薄膜的硬度、模量等，其壓入深度范圍通常在納米量級，也可以擴展至幾微米。