本標準規定了瓶裝電子工業用氣體---三氟化氮的技術要求、試驗方法、檢驗規則及包裝、標志、運輸、儲存和安全。
本標準適用于電子工業用三氟化氮。它主要用作電子工業中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學氣相沉積的清洗劑。
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