本標準采用輝光放電原子發射光譜法用于定量測定鋼表面納米、亞微米尺度薄膜（金屬鍍膜和氧化膜）中膜厚、鍍層質量（單位面積）和薄膜中的元素深度分布。 
     本方法適用于測定3nm～1000nm厚度的鋼表面薄膜，適用的元素包括：鐵、鉻、鎳、銅、鈦、錳、鋁、碳、磷、氧、氮和硅。