本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
    本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來(lái)提供還原氣氛,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。