本標準規定了氬的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態和氣態氬以及經純化方法得到的氬。
氬用于系統的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。
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