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電子工業用氣體 氬

標 準 號: GB/T 16945-2009
替代情況: 替代 GB/T 16945-1997
發布單位: 國家質量監督檢驗檢疫總局|國家標準化管理委員會
起草單位: 北京氦普北分氣體工業有限公司、西南化工研究設計院
發布日期: 2009-10-30
實施日期: 2010-05-01
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更新日期: 2010年05月18日
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內容摘要

  本標準規定了氬的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
  本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態和氣態氬以及經純化方法得到的氬。
  氬用于系統的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。

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