1.別名·英文名
二氟二氫硅;Difluorosilane.
2.用途
含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料氣。
3.理化性質
分子量: 68.10
熔點: -122.0℃
沸點(101.325kPa): -77.8℃
氣體密度: 2.35kg/m3
熔化熱: 6.148kJ/kg
氣化熱: 292.092kJ/kg
臨界溫度: 34℃
蒸氣壓(-124.3℃): 2.666kPa
(-98.3℃): 26.664 kPa
(-87.8℃): 53.329kPa
比熱容(氣體,25℃): 749.443J/(kg·K)
二氟硅烷在常溫常壓下為具有腐蝕性的可燃性有毒氣體。長時間放置時緩慢分解,但比SiHF3分解速度慢。
2SiH2F2→SiH4+SiF4
在水或苛性蘇打的水溶液中水解產生氫氣。
與乙醇、氨和胺反應。
參見六氟化二硅。
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