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金屬有機化合物氣體應用：四氟化硫

　　
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1.別名·英文名
  氟化硫；Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride．
 
  2.用途
  電子氣、化學氣相淀積、氟化劑、表面處理劑、等離子干刻。
 
  3.制法
   2F2+S→SF4
 
  4.理化性質
  分子量：    108.058
  熔點：    -121.5℃
  沸點(101.325kPa)：    -40.4℃
  液體密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3
            (-80℃，S.P.)：    1940.6kg/m3
  氣體密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3
  相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：3.783
  比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg
  臨界溫度：    90.9℃
  臨界壓力：    6342.9kPa
  氣化熱(-40.4℃，101.325kPa)：  200.72 kJ/kg
  比熱容(氣體，25℃)：    Cp=707.57 J/(kg·k)
  蒸氣壓(-100℃)：    0.9kPa
         (-60℃)：    32kPa
         (21.1℃)：    1067
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