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廢氣排放管理辦法

		點擊數：	更新時間： 2024年05月21日
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廢氣排放管理辦法
文件類別：作業類文件/動力系統管控
文件初始編制者/日期：
文件修訂者/日期：

文件審批記錄：

部門/職位	姓名
副總裁	
基建動力部總監	
ESH部經理

文件修改履歷：
版本號
Rev	更改內容/描述
Description of Changes	發布日期
Release date
A/0	文件新編	2009.11.30

1目的與范圍
使PM人員，設備運行工程師，系統工程師熟悉廢氣排放流程,了解廢氣異常排放處理辦法，預防及減輕廢氣系統管理不當及人為疏忽造成的對當地大氣環境的影響,確保處理后之制程廢氣達到國家市政廢氣排放標準安全排放.
2規范性引用文件
2。1中華人民共和國國家標準大氣污染物綜合排放標準
3職責
3。1相關部門因按照此辦法規定的管理標準嚴格執行；
3.2動力設備部相關工程師應嚴格管控生產廢氣達到國家標準排放；
4術語和定義
無
5管理內容與治理措施方法
5.1 廢氣污染源分析
廢氣處理系統所處理排放的廢氣主要來源于：生產工藝過程包括擴散前清洗（制絨）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蝕等使用氫氟酸、鹽酸、硝酸、四氟化碳等化學試劑揮發產生的酸性、含氟廢氣；清洗、擴散、PEVCD等工序產生有機溶劑廢氣和少量工藝尾氣。
5.2 廢氣處理系統
根據廢氣性質，將廢氣處理系統分為一般性廢氣（廢熱）排風系統、酸性廢氣處理系統、工藝尾氣處理系統和有機廢氣處理系統,新增加異丙醇回收裝置，各系統考慮了將來達規模的生產要求，放大了處理系統的能力，風機采用變頻式風機，可根據需要變化排風量。
5。2.1一般廢氣（廢熱）排風系統
該系統排放一般的廢氣和高溫排風，不需經處理而直接排放.
5。2.2酸性廢氣處理系統
酸性廢氣主要來源于工藝流程中使用各種酸液對硅片的腐蝕、清洗過程、擴散及等離子刻蝕產生的廢氣，主要污染物為氟化物、硝酸、HCl、Cl2等；擬設置1套酸性廢氣處理裝置進行處理.
酸性廢氣處理系統主要由廢氣洗滌塔、通風機、排氣管和加藥系統等組成。廢氣先由排氣管道輸入廢氣洗滌塔，吸收液為氫氧化鈉溶液，堿液經回圈噴灑而下，利用氫氧化鈉溶液作吸收液凈化酸霧廢氣，吸收效率為93%～98%。
5。2.2。1酸性廢氣塔結構原理:
 
5。2.2。2酸性廢氣處理流程：

5。3 工藝尾氣、堿性廢氣處理系統
工藝尾氣、堿性廢氣主要來源于：PEVCD工藝過程中使用氨氣、硅烷等過程，堿性廢氣的主要成分為氨、工藝尾氣中含有微量硅烷等。采用HWR型生產工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統進行處理。
5.3.1工藝尾氣、堿性廢氣處理設備結構：
 
5.3。2工藝尾氣、堿性廢氣處理流程圖：

5。4 有機廢氣處理系統
有機廢氣主要來源于絲網印刷和燒結過程中產生的有機氣體,主要成份為異丙醇等有機物。設置活性炭纖維吸附處理系統進行處理。
采取的活性炭纖維吸附處理系統對VOC的處理效果能達到90％以上,滿足《中華人民共和國國家標準大氣污染物綜合排放標準》的要求。
5。4。1有機廢氣系統處理流程
揮發性有機化合物廢氣經過活性炭吸附塔,由內部活性炭過濾器吸附，處理后由風機抽引經煙囪排至大氣環境。
5。4。2活性炭吸附塔結構原理:

5。4。3有機廢氣處理流程圖:

5。5 工藝尾氣排放分析
5.5.1工藝廢氣來源
在電池芯片的加工過程中,工藝尾氣主要來自擴散、PECVD、干法刻蝕等工序，尾氣中含有微量硅烷等。
應用工藝特殊氣體的典型生產工藝為：
(1）擴散：擴散是在硅片表面摻入純雜質原子的過程.工藝生產過程中分為沉積源和驅趕兩步，其化學反應為：
①:5 POCl33 PCl5 + P2O5
②：5P2O5 + 5 Si == 5SiO2 + 4P
(2)化學氣相沉積(PECVD)：PECVD是在硅片上沉積氧化硅、氮化硅和多晶硅等半導體器件材料，在300～900℃的溫度下通過化學反應產生以上物質的過程，其化學反應為：
SiH4  + O2 →SiO2 + 2H2O
SiH4  + N2O→SixO2 + N2 + H2
SiH4  + NH3  →Si3N4 + H2
在上述生產工藝中，使用硅烷等多種特殊氣體，絕大多數特殊氣體參與了反應,所排放的尾氣中的主要成份為HCl、HF等.
5。5。2工藝尾氣處理措施
1、對氣源柜、注入機反應室、有毒氣體間、腐蝕性氣體間、氫氟酸配送間、酸液配送間的排風接入酸性廢氣洗滌系統進行處理后排放。
2、對于在硅片PECVD生產工序中產生的工藝廢氣,本項目擬采用HWR型生產工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統進行處理。處理后產生的尾氣由風機經排氣筒高于地面18米排放。
5.5。3廢氣排放統計
酸性/堿性廢氣、有機廢氣中主要污染物處理及排放情況見表3。1—6.從表中可見,經采取上述處理措施后，酸性廢氣、有機溶劑廢氣各排氣筒主要污染物指標均能達到《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297-1996中二級標準（第二時段);堿性廢氣各排氣筒的氨也能達到《惡臭污染物排放標準》GB 14554—93的要求。
表3.1－6  工藝廢氣主要污染物處理及排放情況
廢氣
種類	排放參數	污染物
名稱	處理前	處理后	評價標準	達標
情況
	高度
(m)	排氣
總量
（m3/h）		排放
速率
（kg/h）	排放
濃度
(mg/m3）	排放
速率
(kg/h)	排放
濃度
(mg/m3)	排放
速率
(kg/h)	排放
濃度
（mg/m3)	
酸性廢氣	＞18	≤45000	氟化物	1.80	120	0。090	6.0	0.43	9	達標
			HCl	0.46	30.7	0。023	1。53	0.26	100	達標
			NOx	0.114	7.6	0.0057	0。38	0.77	240	達標
堿性廢氣	＞18	≤9400	NH3	0.06	18.8	0.003	0.94	20	-	達標
有機廢氣	＞18	≤12000	VOC
(主要異是丙醇）	0。38	63.3	0。038	6。3	排放速率<0。6 kg/h或去除率>90%	達標
注：1。 除氨執行《惡臭污染物排放標準》GB 14554—93外,其余均執行《大氣污染物綜合
排放標準》GB 16297-1996中二級標準（第二時段)。
2. 氮氧化物以NO2計，氟化物以F計。

5。6關于無組織排放
5.6.1無組織排放是指排氣筒高度小于15m或不通過排氣筒的廢氣排放。
5。6。2 潔凈車間有較高的顆粒潔凈等級要求,因此車間內各股廢氣量均為有組織排放,基本沒有無組織排放的廢氣.
5.7 權責區分
5。7。1對于廢氣排放的各相關單位及工程師，應該擔當各自系統制程，設備清洗等產生廢氣的管制，要安全有效的排放廢氣.動力工程部負責廢氣收集，廢氣處理，廢氣排放，廢氣系統設備，儀表的保養維護,確保系統正常運轉,保證處理完后廢氣達到排放標準。
5.7。2EHS部門負責監督。
5。8 廢氣排放管理
5.8。1廢氣收集系統，處理系統相關設備，儀表，管件由動力工程師及維修人員根據廢氣系統PM OI進行定期保養維護，并記錄各時期自主檢查表，確保系統正常運行。
5。8。2對于廢氣排放使用之風機，動力工程部應做定期的檢修工作。
5.8。3對于排放出的廢氣環保局會隨時抽測,我們會針對不符合排放標準的廢氣做相應的改進措施。 
5.8。4定期委外監測
5。8。4.1 監測項目：氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫、有機化合物。
5。8。4.2 監測位置：酸/堿排氣類型目前均有排放口，每年取樣并作記錄
5。8。5處理設備參數設定
5.8。5。1 酸性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為8.0～11
5.8。5.2 堿性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為3.0~6.0
5.8。6廢氣系統異常情況分析與對策
5.8.6。1主要分為以下異常情況:生產設備異常造成廢氣排放,致使排放濃度增高;機臺正常廢氣排放，但處理后未能達標.
5.8.6。2 機臺異常造成廢氣排放
5.8。6.3 從所有生產設備使用氣體的情況來看，就鋼瓶內儲存氣體量都不大,Exhaust都能滿足抽風排氣的需求,即生產設備端異常氣體泄漏,主要有氣體泄漏為酸、堿性氣體,會被抽到酸、堿性洗滌塔，分別用NaOH和HCl溶液循環洗滌去除有害類氣體，如果因為異常廢氣排放濃度增大，則可以通過調節洗滌塔內水的PH值（對于酸塔提高PH設定值，對于堿塔降低PH設定值)，來提高洗滌塔的處理效率。
5.9非正常工況廢氣排放處理辦法
5.9.1在車間開工時，首先運行所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站，然后再開啟車間的工藝流程，使在生產中所使用的各類化學品所產生的廢氣都能得到處理、廢水也能排到廢水處理站.5。9.2 車間停工時，所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站繼續運轉，待工藝中的廢氣和廢水沒有排出之后才逐臺關閉.這樣，車間在開、停車時排出污染物均得到有效處理，經排氣筒排出的污染物濃度和正常生產時基本一致。
5。9。3廢氣處理系統和排風機均設有保安電源，系統設有備用風機（N+1配置）。當廢氣處理設備出現故障時，工藝生產過程排放的廢氣將未經處理直接排入大氣，造成非正常排放.故障一般能在2小時內修復。
5.9。4排風系統均設有安全保護電源和報警系統,設備定期檢修保養，基本上能保證無故障運行。5.9.5  日常運行中，若出現故障，檢修人員可立即到現場進行維修,一般操作在30分鐘內基本上可以完成，預計最長不會超過60分鐘。
5。9.6廢氣處理系統出現故障，一般采取以下措施：
5.9.6。1  如果全廠停電，停止生產,無污染物產生。
5。9。6.2  為確保安全，風機仍然繼續運轉(采用UPS）.
5.9.6。3 風機出現故障時，備用風機立即啟動.
6  相關記錄:
6。1Q/ZTIS Z02020302-01 《廢氣異常排放記錄表》
7  管理流程圖：無
8  附錄

8。1附錄A：一般酸堿廢氣異常排放處理流程
附錄A:一般酸堿廢氣異常排放處理流程

否

是

否

是

否

是

附錄B：有機廢氣處理流程

否

是

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