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多晶硅火災(zāi)危險(xiǎn)性分析及消防技術(shù)措施

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通過(guò)對(duì)多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的主要危險(xiǎn)品氫氣、液氯、氯化氫和三氯氫硅的理化性質(zhì)分析以及主要生產(chǎn)工藝過(guò)程的火災(zāi)危險(xiǎn)性分析，提出多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中應(yīng)注意的消防安全技術(shù)措施。

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