隨著科學技術的突飛猛進，半導體制造技術面臨日新月異的變化，對氣體的需求無論是在種類上還是品質上都不斷提高。晶圓制造廠被國外列為“極高風險”的行業，因為在其制造過程中要使用到大量的高毒性、腐蝕性或易燃易爆性等工藝氣體。特殊氣體品質及安全管理問題日顯突出。因此本論文以N。0及Sill。兩個氣體供應系統為基礎，分別進行了氣體供應系統品質及安全問題的研究。
本文首先簡單介紹了本研究工作的意義、‘現狀、工作內容。